韓國公司Soft-Epi近日宣布，其突破性技術(shù)可以利用現(xiàn)有的MOCVD批量生產(chǎn)紅色LED，而無需額外的設(shè)備投資，目前已經(jīng)正在推出用于MicroLED的GaN紅色外延片。
為了用MicroLED制作這些顯示器，目前已使用AlGaInP紅色LED技術(shù)。然而，AlGaInP的問題在于，由于其表面復(fù)合率高，其效率會隨著芯片尺寸變小而急劇下降。此外，由于其機(jī)械性能較弱，因此在轉(zhuǎn)移時(shí)良率急劇下降，且昂貴的晶圓價(jià)格使工藝成本很高。
由于這些問題，紅色GaN外延片作為一種替代解決方案一直受到顯示器行業(yè)的廣泛關(guān)注，尤其是因?yàn)樗褂昧伺c藍(lán)色和綠色micro LED相同的材料。
據(jù)該公司稱，公司采用藍(lán)寶石襯底，但該技術(shù)適用于所有襯底（藍(lán)寶石、Si、SiC和GaN）。標(biāo)準(zhǔn)晶圓尺寸為4英寸，但也有2英寸和6英寸可供選擇。波長為620至670nm。據(jù)說電光效率超過2%。
而且，該項(xiàng)技術(shù)還可以在一個晶圓上同時(shí)制造出紅綠藍(lán)，且有望消除轉(zhuǎn)移工序。Soft-Epi已經(jīng)成功將紅色和綠色制造成一個晶圓，并計(jì)劃在今年內(nèi)將藍(lán)色也一起制造在一個晶圓中。
來源：化合物半導(dǎo)體雜志
