近期,由深圳市壹倍科技有限公司(以下簡稱“壹倍”)自主研發(fā)與生產(chǎn)的Micro LED巨量檢測設備陸續(xù)批量出機,并成功交付行業(yè)頭部客戶。這些設備憑借壹倍的卓越技術(shù)實力,有效提供巨量檢測的全面解決方案,攻克客戶的量產(chǎn)痛點,為行業(yè)發(fā)展注入了強大的動力。
自2022年壹倍推出國內(nèi)首套Micro LED晶圓級巨量檢測系統(tǒng)α-INSPEC系列以來,公司不斷與全產(chǎn)業(yè)鏈客戶開展深度技術(shù)合作,積累了豐富的行業(yè)經(jīng)驗,從檢測的視角出發(fā),在Micro LED生產(chǎn)技術(shù)的“良率、精度、效率”這三個維度上持續(xù)突破,挑戰(zhàn)行業(yè)極限。這一系列的努力不僅贏得了行業(yè)頭部客戶的廣泛認可和青睞,更堅定了壹倍推動中國化合物半導體產(chǎn)業(yè)檢測設備全面國產(chǎn)化的決心。
技術(shù)突破,從效能出發(fā)加速產(chǎn)業(yè)發(fā)展
壹倍批量交付的Micro LED巨量檢測設備采用了 PL(Photoluminesence, 光致發(fā)光)檢測技術(shù),實現(xiàn)了無接觸、非破壞性和超快速的發(fā)光性能檢測。PL技術(shù)是將特定光束作為驅(qū)動力,代替探針接觸向MicroLED芯粒注入能量實現(xiàn)無接觸的MicroLED發(fā)光,繼而實現(xiàn)對MicroLED的光學和光譜學檢測。壹倍掌握的Micro PL 技術(shù)可在數(shù)分鐘內(nèi)檢測Micro LED COW(chip on wafer)或 COC(chip on carrier)晶圓上數(shù)千萬顆芯粒的亮度和光譜信息,最小已驗證可檢測芯粒尺寸3μm*3μm,其難點是在保持高的空間分辨率基礎上同時達到高光譜分辨率、高靈敏度(特別是紅光芯片)和高可靠性。通過Micro PL檢測技術(shù)解決MicroLED微型化后生產(chǎn)鏈路中的工藝控制和良率監(jiān)控難題,已經(jīng)是行業(yè)公認的適用于量產(chǎn)的解決方案。Micro LED生產(chǎn)企業(yè)通過建立標準化綜合測試能力,可以大幅減少后道工序的修補成本,提高總體良率并降低終端產(chǎn)品成本,共同加速產(chǎn)業(yè)發(fā)展。目前,壹倍在Micro LED 行業(yè)PL檢測領域持續(xù)保持領頭羊角色,并已規(guī)劃開發(fā)下一代Enhanced Micro PL檢測技術(shù),旨在深度解決規(guī)?;a(chǎn)中的良率管理痛點。
同時,基于用戶導向的價值理念,針對下游客戶在COC巨量轉(zhuǎn)移段的高通量的芯粒位置量測和缺陷檢測需求,壹倍也推出了相應的產(chǎn)品線。為了達到巨量芯片位置量測精度和速度的要求,壹倍在硬件方面與上游光學零部件廠商合作,采用了高NA、超大視野的線掃成像系統(tǒng);在軟件及算法方面,基于近幾年在產(chǎn)線實踐過程中針對巨量芯粒檢測(單wafer超億顆芯片)的數(shù)據(jù)分析和處理經(jīng)驗,不斷改進算法效率提高檢測速度,并自主開發(fā)了系統(tǒng)誤差整合分析和校準技術(shù),以在控制整體BOM成本的前提下達到亞微米級的全局位移量測精度。
通過結(jié)合PL、AOI及其他在研光學檢測技術(shù),壹倍已全面具備面向MicroLED行業(yè)晶圓級檢測場景提供全鏈條量產(chǎn)解決方案的能力。
市場突圍,領頭Micro LED國產(chǎn)化檢測領域
隨著Micro LED產(chǎn)業(yè)鏈的日漸成熟,其發(fā)展路徑愈發(fā)明晰。步入2024年,Apple公司在手表領域MicroLED的應用遭遇了重大停滯,但事實證明這并未影響其它場景的Micro LED技術(shù)和產(chǎn)品的前景和迭代更新。諸如大尺寸電視、商用顯示、車載半透明顯示、AR微顯示等具備關鍵功能差異化的場景大放異彩,上游芯片企業(yè)、巨量轉(zhuǎn)移廠商和老牌面板巨頭均加大投入力度,開始跨入規(guī)?;慨a(chǎn)階段,國產(chǎn)檢測方案和設備已成為MicroLED實現(xiàn)規(guī)模化量產(chǎn)、優(yōu)化關鍵工藝流程的必爭高地。
面對這一充滿機遇的市場,壹倍科技在穩(wěn)固國內(nèi)行業(yè)領先地位的同時,積極調(diào)整市場策略,于今年第二季度啟動了臺灣及海外市場拓展計劃。目前,壹倍已與臺廠客戶實現(xiàn)全面對接,并將在今年迎來化合物半導體領域國產(chǎn)前道檢測設備首次海外出貨的里程碑時刻。壹倍始終堅持晶圓級檢測核心技術(shù)的研發(fā)與創(chuàng)新,致力于為Micro LED顯示行業(yè)的規(guī)?;慨a(chǎn)以及大幅降本貢獻重要力量!
關于壹倍
壹倍科技于2020年在深圳市寶安區(qū)正式成立,并先后在上海、廈門設立分部,擁有近5000㎡的現(xiàn)代化研發(fā)和生產(chǎn)基地。公司的核心團隊由海內(nèi)外知名高校和半導體設備企業(yè)高層次人才組成,具備半導體物理理論、材料表征分析、自研高端光學部件以及精密機電自動化等研發(fā)背景與系統(tǒng)工程產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗。目前公司員工近百人,專業(yè)研發(fā)人員占比近70%。
公司自成立以來,獲得了多輪知名機構(gòu)外部融資,并榮獲高新技術(shù)企業(yè)、專精特新等榮譽。壹倍科技堅持以材料分析和光譜光學技術(shù)為基礎,致力于提高化合物半導體的襯底、外延及芯片的制程控制和良率管理水平,為Mini/MicroLED新型顯示、SiC功率器件等蓬勃發(fā)展的先進應用領域,提供定量化、標準化和智能化的檢測工具,助力中國半導體設備行業(yè)實現(xiàn)從產(chǎn)業(yè)升級到全球領先的目標。