近日，省科技廳發(fā)布《2022年度山西省科技重大專項計劃“揭榜掛帥”項目成功揭榜公告》，山西中科潞安紫外光電科技有限公司申報的“深紫外LED量產(chǎn)型金屬有機化合物氣相沉積（MOCVD）裝備研發(fā)”項目成功中榜，揭榜單位包括中國科學院半導體研究所和長治學院。該項目將獲得財政專項經(jīng)費900萬元。這是長治高新區(qū)深入實施創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展戰(zhàn)略，積極開展前瞻性、引領(lǐng)性科學技術(shù)研究和關(guān)鍵共性技術(shù)攻關(guān)的又一重要成果。

該項目投資總經(jīng)費3000萬元，將研制出具有自主知識產(chǎn)權(quán)的量產(chǎn)型高溫MOCVD裝備，其硬件及材料、器件性能可達到國際領(lǐng)先水平。該項目的實施，將填補專用于深紫外LED量產(chǎn)型MOCVD裝備（一次生長20片以上2英寸外延片）的世界空白，突破制約深紫外LED發(fā)展的最大瓶頸，有效支撐和延伸我省第三代半導體產(chǎn)業(yè)鏈，為全市經(jīng)濟高質(zhì)量發(fā)展注入活力。